直至线条端点图形的边缘位置误差小于第一阈值时停止?关于股票的所有知识证券之星新闻,遵循企查查数据显示晶合集成(688249)新得回一项发觉专利授权,专利名为“掩膜版、光学邻近更正手腕、装配及电子修造”,专利申请号为CN3.X,授权日为2024年3月15日。
专利摘要:本发觉供给了一种掩膜版、光学邻近更正手腕、装配及电子修造,行使于半导体技艺规模。的确的,先是对测试邦畿中的线条端点图形举行众顺序一转移量的初始光学邻近更正,直至线条端点图形的边沿职位差错小于第一阈值时干歇,之后再通过引入一新的评议函数,即以线条端点图形的第一仿真图形和目的图形为根本构修一凹陷区域,然后运用该凹陷图形的面积与第二阈值的相干,筛选出线条端点图形发作pinch题目的线边,并对其举行第二转移量的线边移位调节,从而杀青了正在省略或最众实施预先设定的更正迭代的总次数内就可有用的下降掩膜版上的线条端点图形正在硅片上所酿成的半导体组织发作“断道”(pinch)的概率,进而杀青升高OPC更正的精度和服从。
本年以后晶合集成新得回专利授权60个,较旧年同期弥补了106.9%。连接公司2023年中报财政数据,2023上半年公司正在研发方面加入了5.02亿元,同比增27.46%。
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证券之星估值领悟提示晶合集成节余才能较差,将来营收获长性较差。归纳根基面各维度看,股价合理。更众
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